Systems and methods for titanium-containing film removal
Номер патента: WO2024158527A1
Опубликовано: 02-08-2024
Автор(ы): Aaron Dangerfield, Anchuan Wang, Baiwei Wang, Bhaskar Jyoti Bhuyan, Lisa J. Enman, Mikhail Korolik, Rohan Puligoru Reddy, Wanxing Xu, Xiaolin C. Chen, Zhenjiang Cui
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-08-2024
Автор(ы): Aaron Dangerfield, Anchuan Wang, Baiwei Wang, Bhaskar Jyoti Bhuyan, Lisa J. Enman, Mikhail Korolik, Rohan Puligoru Reddy, Wanxing Xu, Xiaolin C. Chen, Zhenjiang Cui
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Systems and methods for titanium-containing film removal
Номер патента: US20240258116A1. Автор: Mikhail Korolik,Anchuan Wang,Bhaskar Jyoti Bhuyan,Zhenjiang Cui,Baiwei Wang,Rohan Puligoru Reddy,Xiaolin C. Chen,Aaron Dangerfield,Wanxing Xu,Lisa J. Enman. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-01.