Recycle method and device for recycle of waste water containing suspension from semiconductor processing process, in particular, chemical-mechanical finishing
Номер патента: RU2520474C2
Опубликовано: 27-06-2014
Автор(ы): Франц БРУММЕР
Принадлежит: Хигхк-Фэктори Гмбх
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-06-2014
Автор(ы): Франц БРУММЕР
Принадлежит: Хигхк-Фэктори Гмбх
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for electrochemically structuring a conductive or semiconductor material, and device for implementing it
Номер патента: US20090255820A1. Автор: Denis Buttard. Владелец: Commissariat a lEnergie Atomique CEA. Дата публикации: 2009-10-15.