Image acquisition device and image acquisition method
Номер патента: US20180253585A1
Опубликовано: 06-09-2018
Автор(ы): Akira BOGAKI, Satoru Oshima, Takaaki Morimoto, Takahiro Yanagiuchi
Принадлежит: Glory Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-09-2018
Автор(ы): Akira BOGAKI, Satoru Oshima, Takaaki Morimoto, Takahiro Yanagiuchi
Принадлежит: Glory Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device and method for measuring thickness and refractive index of multilayer thin film by using angle-resolved spectral reflectometry
Номер патента: US11906281B2. Автор: Hyug-Gyo Rhee,Young-Sik GHIM. Владелец: Korea Research Institute of Standards and Science KRISS. Дата публикации: 2024-02-20.