Carrier for measurement and wafer transfer system including the same
Номер патента: US11733077B2
Опубликовано: 22-08-2023
Автор(ы): Chul-jun Park, Geunhyung KIM, Gi-nam PARK, JongJin AHN, Kyubum CHO, Min Kyun LEE, Sanga BANG, Sangkyung Lee, Sangmin Kim, Yong-Jun Ahn
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-08-2023
Автор(ы): Chul-jun Park, Geunhyung KIM, Gi-nam PARK, JongJin AHN, Kyubum CHO, Min Kyun LEE, Sanga BANG, Sangkyung Lee, Sangmin Kim, Yong-Jun Ahn
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device for measuring the gaseous contamination of a carrier for transporting semiconductor substrates and associated measurement method
Номер патента: WO2024061513A1. Автор: Julien Bounouar,Olivier Le Barillec,Donovan LEBON. Владелец: PFEIFFER VACUUM. Дата публикации: 2024-03-28.