Chromatic aberration correcting device for correcting electron-optical system, has two multipole lenses for generating quadrupole fields, which are arranged on opposite sides of two relay lenses, each with certain focal length
Номер патента: DE102013002757A1
Опубликовано: 29-08-2013
Автор(ы): Fumio Hosokawa
Принадлежит: Jeol Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-08-2013
Автор(ы): Fumio Hosokawa
Принадлежит: Jeol Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Charged particle beam column, charged particle beam chromatic aberration corrector, and method of correcting charged particle beam chromatic aberration
Номер патента: US20240222063A1. Автор: Pieter Kruit,John Breuer. Владелец: Ict Integrated Circuit Testing Gesellschaft Fuer Halbleiterpueftechnik Mbh. Дата публикации: 2024-07-04.