Objective lens array assembly, electron-optical system, electron-optical system array, method of focusing, objective lens arrangement
Номер патента: US20230245849A1
Опубликовано: 03-08-2023
Автор(ы): Marco Jan-Jaco Wieland
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-08-2023
Автор(ы): Marco Jan-Jaco Wieland
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Electron-optical system with einzel lens and inspection method using the same
Номер патента: US20030025076A1. Автор: Toru Takagi,Akihiro Goto. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-02-06.