Nondestructive analysis for periodic structure
Номер патента: US20110029286A1
Опубликовано: 03-02-2011
Автор(ы): Jin-Mo Chung, Seung-Ho HAN, Young Dong Kim
Принадлежит: Industry Academic Cooperation Foundation of Kyung Hee University
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-02-2011
Автор(ы): Jin-Mo Chung, Seung-Ho HAN, Young Dong Kim
Принадлежит: Industry Academic Cooperation Foundation of Kyung Hee University
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of finite periodic structures.
Номер патента: NL2008928A. Автор: Irwan Setija,Maxim PISARENCO. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2013-01-08.