Control method of driving apparatus, driving apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article
Номер патента: US20230011753A1
Опубликовано: 12-01-2023
Автор(ы): Hayato Hoshino
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-01-2023
Автор(ы): Hayato Hoshino
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Driving apparatus, light source driving apparatus, light source apparatus, projection apparatus, and driving method, suitable for driving load in which value of physical quantity as controlled object periodically changes
Номер патента: US20150268544A1. Автор: Tetsuro Narikawa. Владелец: Casio Computer Co Ltd. Дата публикации: 2015-09-24.