Compressive films for large area gapfill
Номер патента: US20240332028A1
Опубликовано: 03-10-2024
Автор(ы): Abhijit Basu Mallick, Supriya Ghosh, Susmit Singha Roy, Zeqing Shen
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-10-2024
Автор(ы): Abhijit Basu Mallick, Supriya Ghosh, Susmit Singha Roy, Zeqing Shen
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of preparation of iii-v compound layer on large area si insulating substrate
Номер патента: US20170117138A1. Автор: Richard R. Chang,Deyuan Xiao. Владелец: Zing Semiconductor Corp. Дата публикации: 2017-04-27.