METHOD FOR PRODUCING NANO-PROFILED ULTRA-THIN FILM Al2O3 ON SURFACE OF POROUS SILICON
Номер патента: RU2634326C2
Опубликовано: 25-10-2017
Автор(ы): Александр Дмитриевич Бондарев, Александр Сергеевич Леньшин, Иван Никитич Арсентьев, Илья Сергеевич Тарасов, Павел Владимирович Середин
Принадлежит: Федеральное государственное бюджетное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет" (ФГБУ ВО ВГУ)
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-10-2017
Автор(ы): Александр Дмитриевич Бондарев, Александр Сергеевич Леньшин, Иван Никитич Арсентьев, Илья Сергеевич Тарасов, Павел Владимирович Середин
Принадлежит: Федеральное государственное бюджетное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет" (ФГБУ ВО ВГУ)
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for modifying surfaces with ultra thin films
Номер патента: US5897918A. Автор: Brij P. Singh,Pramod K. Arora. Владелец: NanoFilm Ltd. Дата публикации: 1999-04-27.