Laser-beam homogenization or shaping
Номер патента: WO2024220336A1
Опубликовано: 24-10-2024
Автор(ы): Amir Aizen, Assaf Hacohen, Avner Safrani, Ilia Lutsker, Stanislav Stepanov, Sylvi HAENDEL
Принадлежит: KLA Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-10-2024
Автор(ы): Amir Aizen, Assaf Hacohen, Avner Safrani, Ilia Lutsker, Stanislav Stepanov, Sylvi HAENDEL
Принадлежит: KLA Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Laser-Beam Homogenization or Shaping
Номер патента: US20240353686A1. Автор: Ilia Lutsker,Avner Safrani,Stanislav Stepanov,Amir Aizen,Sylvi HAENDEL,Assaf Hacohen. Владелец: KLA Corp. Дата публикации: 2024-10-24.