Method and device for cleaning of ionizing electrodes
Номер патента: US09630185B1
Опубликовано: 25-04-2017
Автор(ы): Yefim Riskin
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-04-2017
Автор(ы): Yefim Riskin
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus
Номер патента: US12030092B2. Автор: Satoru Yamamoto,Kenji Kodera,Keisuke Uchiyama,Hokuto YAMANOBE. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-07-09.