Feature selection and automated process window monitoring through outlier detection
Номер патента: US10365639B2
Опубликовано: 30-07-2019
Автор(ы): Bradley Ries, Himanshu Vajaria, Shabnam Ghadar, Sina Jahanbin
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-07-2019
Автор(ы): Bradley Ries, Himanshu Vajaria, Shabnam Ghadar, Sina Jahanbin
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Refining defect detection using process window
Номер патента: US11728192B2. Автор: Haizhou Yin,Chenlong Miao,Michael J. Wojtowecz. Владелец: GlobalFoundries US Inc. Дата публикации: 2023-08-15.