Process for producing a negative pattern of an original from a positive resist
Номер патента: DE2855723C2
Опубликовано: 28-11-1985
Автор(ы): Holger 7031 Holzgerlingen Moritz, Klaus Dipl.-Phys. 7033 Herrenberg Schackert
Принадлежит: IBM Deutschland GmbH
Опубликовано: 28-11-1985
Автор(ы): Holger 7031 Holzgerlingen Moritz, Klaus Dipl.-Phys. 7033 Herrenberg Schackert
Принадлежит: IBM Deutschland GmbH
Process for fabricating supersphere solid immersion lens
Номер патента: US20050196708A1. Автор: Yi-Ting Sun,Wensyang Hsu. Владелец: National Chiao Tung University NCTU. Дата публикации: 2005-09-08.