USE OF SURFACTANTS HAVING AT LEAST THREE SHORT-CHAIN PERFLUORINATED GROUPS RF FOR MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS HAVING PATTERNS WITH LINE-SPACE DIMENSIONS BELOW 50 NM
Номер патента: US20130288484A1
Опубликовано: 31-10-2013
Автор(ы): Klipp Andreas, Mayer Dieter
Принадлежит: BASF SE
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-10-2013
Автор(ы): Klipp Andreas, Mayer Dieter
Принадлежит: BASF SE
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for manufacturing a semiconductor integrated circuit
Номер патента: EP0030147A1. Автор: Minoru Taguchi,Koichi Kanzaki. Владелец: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd. Дата публикации: 1981-06-10.