IMAGING AND PROCESSING FOR PLASMA ION SOURCE
Номер патента: US20130320229A1
Опубликовано: 05-12-2013
Автор(ы): Graupera Anthony, Kellogg Sean, Maazouz Mostafa, Miller Tom, Zhang Shouyin
Принадлежит: FEI COMPANY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-12-2013
Автор(ы): Graupera Anthony, Kellogg Sean, Maazouz Mostafa, Miller Tom, Zhang Shouyin
Принадлежит: FEI COMPANY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
RF system, magnetic filter, and high voltage isolation for an inductively coupled plasma ion source
Номер патента: US09655223B2. Автор: Noel S. Smith,Paul P. Tesch,Roderick W. Boswell,Noel P. Martin. Владелец: OREGON PHYSICS LLC. Дата публикации: 2017-05-16.