Conditioning of the atmosphere in a process chamber for the treatment of substrates using control of pump speed and gas analysis to match requirements at each process stage
Номер патента: FR2808098A1
Опубликовано: 26-10-2001
Автор(ы): Gloria Sogan, Roland Bernard, Veronique Chevalier
Принадлежит: Alcatel CIT SA, Alcatel SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-10-2001
Автор(ы): Gloria Sogan, Roland Bernard, Veronique Chevalier
Принадлежит: Alcatel CIT SA, Alcatel SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and device for the internal plasma treatment of hollow bodies
Номер патента: US20090155490A1. Автор: Matthias Bicker,Robert Hormes,Manfred Lohmeyer. Владелец: SCHOTT AG. Дата публикации: 2009-06-18.