Valve assembly and substrates treating apparatus having the same
Номер патента: KR101461052B1
Опубликовано: 13-11-2014
Автор(ы): 신인규
Принадлежит: 피에스케이 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-11-2014
Автор(ы): 신인규
Принадлежит: 피에스케이 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate treating apparatus and substrate treating method
Номер патента: US20220390848A1. Автор: Tae Hee Kim,Ki Hoon Choi,Young Dae Chung,Se Hoon Oh,Young Eun JEON. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-08.