柱形结构的阻剂结构元件和可移除间隔物间距加倍构图方法
Номер патента: CN102272888A
Опубликовано: 07-12-2011
Автор(ы): S.J.拉迪甘, 陈永廷
Принадлежит: SanDisk 3D LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-12-2011
Автор(ы): S.J.拉迪甘, 陈永廷
Принадлежит: SanDisk 3D LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Patterning method for high density pillar structures
Номер патента: US20110171815A1. Автор: Michael Konevecki,Steven J. Radigan,Yung-Tin Chen,Natalie Nguyen,Paul Wai Kie Poon,Vance Dunton,Raghuveer Makala. Владелец: SanDisk 3D LLC. Дата публикации: 2011-07-14.