Cassette, apparatus for loading substrate, apparatus for unloading substrate, and system and method for moving the substrate using the same
Номер патента: KR102096981B1
Опубликовано: 06-04-2020
Автор(ы): 김승국, 박대출, 최정원
Принадлежит: 동우 화인켐 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-04-2020
Автор(ы): 김승국, 박대출, 최정원
Принадлежит: 동우 화인켐 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Overhead traveling vehicle system and transfer control method for overhead traveling vehicle system
Номер патента: US10037908B2. Автор: Tatsuji Ota. Владелец: Murata Machinery Ltd. Дата публикации: 2018-07-31.