使用多个波长的多工作距离高度传感器

12-02-2021 дата публикации

Номер:

CN112368542A

Автор: D·佩蒂伯恩

Принадлежит: KLA Tencor Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

G G0 G01 G01B G01B1 G01B11 G01B11/G01B11/0 G01B11/02 G01B11/026 G01B11/06 G01B11/060 G01B11/0608 G01N G01N1 G01N15 G01N15/G01N15/0 G01N15/02 G01N15/022 G01N15/0227 G02 G02B G02B2 G02B21 G02B21/G02B21/0 G02B21/00 G02B21/006 G02B21/0064 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/2 H01J2237/20 H01J2237/202 H01J2237/2023 H01J2237/20235 H01J2237/2028 H01J2237/20285 H01J2237/21 H01J2237/24 H01J2237/248 H01J2237/2482 H01J2237/28 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/20 H01J37/24 H01J37/244 H01J37/28

IPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/2 H01J37/20 H01J37/24 H01J37/244 H01J37/28

Получить PDF