Stable metal compound, composition thereof, and method of use thereof

28-11-2018 дата публикации

Номер:

JP6430954B2

Автор: アニャディグヴ・クレメント, チョ・ジュンヨン, パドマナバン・ミュニラスナ, ミューレン・セイレム・ケイ, ヤオ・フェイロン, ラーマン・エム・ダリル

Принадлежит: AZ Electronic Materials Luxembourg SARL

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C07 C07F C07F3 C07F3/C07F3/0 C07F3/02 C07F5 C07F5/C07F5/0 C07F5/06 C07F7 C07F7/C07F7/2 C07F7/24 C07F7/28 C07F9 C07F9/C07F9/9 C07F9/90 C08 C08G C08G7 C08G79 C08G79/C08G79/0 C08G79/00 C08L C08L8 C08L85 C08L85/C08L85/0 C08L85/00 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/0043 G03F7/07 G03F7/075 G03F7/09 G03F7/091 G03F7/1 G03F7/11 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/027

IPC - классификация

C C0 C07 C07F C07F3 C07F3/C07F3/0 C07F3/02 C07F7 C07F7/C07F7/2 C07F7/24 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/1 G03F7/11

Получить PDF