Depositing system for substrate and depositing method using the same

21-02-2017 дата публикации

Номер:

KR101708420B1

Автор: 이정호, 정석원, 최승호

Принадлежит: 삼성디스플레이 주식회사

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B0 B05 B05D B05D1 B05D1/B05D1/6 B05D1/60 C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/5 C23C14/50 C23C14/56 C23C14/566 C23C14/568 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/671 H01L21/6718 H01L21/67184 H01L21/6719 H01L21/67196 H01L21/677 H01L21/6774 H01L21/67742 H01L21/67748

IPC - классификация

C C0 C09 C09D C09D1 C09D16 C09D165 C09D165/C09D165/0 C09D165/04 C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/5 C23C14/50 C23C14/505 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/6 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/6774 H01L21/67742

Получить PDF