Thin film forming method and thin film forming apparatus

07-11-2017 дата публикации

Номер:

KR101794803B1

Автор: 에이지 이치카와, 유지 오카모토, 케이지 이소

Принадлежит: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤

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CPC - классификация

B B0 B05 B05C B05C5 B05C5/B05C5/0 B05C5/00 B05C9 B05C9/B05C9/1 B05C9/12 B05D B05D1 B05D1/B05D1/2 B05D1/26 B05D3 B05D3/B05D3/0 B05D3/06 H H0 H05 H05K H05K2 H05K22 H05K220 H05K2201 H05K2201/H05K2201/0 H05K2201/09 H05K2201/099 H05K2201/0990 H05K2201/09909 H05K2203 H05K2203/H05K2203/0 H05K2203/07 H05K2203/075 H05K2203/0759 H05K3 H05K3/H05K3/0 H05K3/00 H05K3/009 H05K3/0091 H05K3/2 H05K3/28

IPC - классификация

B B0 B05 B05C B05C9 B05C9/B05C9/1 B05C9/12 B05D B05D1 B05D1/B05D1/2 B05D1/26 H H0 H05 H05K H05K3 H05K3/H05K3/2 H05K3/28 H05K3/284

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