낮은 유전상수를 가지는 유전막의 형성 방법 및 형성 장치

27-07-2017 дата публикации

Номер:

KR20170086852A

Автор: 민철홍, 이현호, 황철주

Принадлежит: 주성엔지니어링(주)

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/021 H01L21/0212 H01L21/02126 H01L21/022 H01L21/0226 H01L21/02263 H01L21/023 H01L21/0232 H01L21/02323 H01L21/02329 H01L21/6 H01L21/68 H01L21/683 H01L29 H01L292 H01L2924 H01L2924/H01L2924/0 H01L2924/01 H01L2924/010 H01L2924/0100 H01L2924/01001 H01L2924/01006

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/022 H01L21/0227 H01L21/02274 H01L21/0228 H01L21/02282 H01L21/6 H01L21/68 H01L21/683 H01L21/6835

Получить PDF