기판 수증기 처리 방법 및 기판 수증기 처리 시스템

13-02-2023 дата публикации

Номер:

KR20230020905A

Автор: 다카노리 와카바야시, 다케시 이토, 아츠시 야스토모

Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

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Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3213 H01L21/32138 H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6701 H01L21/67017 H01L21/672 H01L21/6725 H01L21/67253

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/6 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/6777 H01L21/67772

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