Composition and method for polishing silicon carbide

21-05-2019 дата публикации

Номер:

US10294399B2

Автор: Cheng-Yuan Ko, Fernando HUNG LOW, Glenn Whitener, Roman Ivanov

Принадлежит: Cabot Microelectronics Corp

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/02 C09G1/04 C09K C09K3 C09K3/C09K3/1 C09K3/14 C09K3/140 C09K3/1409 C09K3/146 C09K3/1463 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/31 H01L21/310 H01L21/3105 H01L21/31053

IPC - классификация

C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/04 C09G1/06 C09K C09K3 C09K3/C09K3/1 C09K3/14 C09K3/140 C09K3/1409

Получить PDF