TARGET AGE COMPENSATION METHOD FOR PERFORMING STABLE REACTIVE SPUTTERING PROCESSES

16-06-2016 дата публикации

Номер:

US20160168686A1

Автор: Krassnitzer Siegfried, Kurapov Denis

Принадлежит: Oerlikon Surface Solutions AG, Trubbach

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/0 C23C14/00 C23C14/004 C23C14/0042 C23C14/1 C23C14/14 C23C14/3 C23C14/35 H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/00 H01J2237/006 H01J2237/2 H01J2237/24 H01J2237/245 H01J2237/2458 H01J2237/24585 H01J2237/3 H01J2237/33 H01J2237/332 H01J2237/3323 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34 H01J37/340 H01J37/3405 H01J37/342 H01J37/3426 H01J37/346 H01J37/3467 H01J37/347 H01J37/3476

IPC - классификация

C C2 C22 C22C C22C9 C22C9/C22C9/0 C22C9/00 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/3 C23C14/35 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34 H01J37/340 H01J37/3405

Получить PDF