RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, AND POLYMER

25-08-2022 дата публикации

Номер:

US20220269172A1

Автор: KIRIYAMA Kazuya, MARUYAMA Ken, Nishikori Katsuaki, Taniguchi Takuhiro

Принадлежит: JSR Corporation

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C08 C08F C08F2 C08F22 C08F220 C08F220/C08F220/1 C08F220/18 C08F220/180 C08F220/1804 C08F220/1806 C08F220/1807 C08F220/1808 C08F220/1809 C08F220/181 C08F220/1811 C08F220/1812 C08F220/2 C08F220/22 G G0 G03 G03F G03F7 G03F7/G03F7/0 G03F7/00 G03F7/004 G03F7/0045 G03F7/03 G03F7/039

IPC - классификация

C C0 C07 C07C C07C3 C07C38 C07C381 C07C381/C07C381/1 C07C381/12 C08 C08F C08F2 C08F26 C08F261 C08F261/C08F261/0 C08F261/02 C08F8 C08F8/C08F8/0 C08F8/00

Получить PDF