Aberration correction device and method for operating same

16-12-2008 дата публикации

Номер:

US7465939B2

Автор: Juergen Frosien

Принадлежит: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01J H01J2 H01J22 H01J223 H01J2237 H01J2237/H01J2237/0 H01J2237/05 H01J2237/057 H01J2237/1 H01J2237/15 H01J2237/153 H01J2237/1534 H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/15 H01J37/153 H01J4 H01J49 H01J49/H01J49/0 H01J49/06 H01J49/2 H01J49/28 H01J49/288

IPC - классификация

B B8 B82 B82Y B82Y1 B82Y10 B82Y10/B82Y10/0 B82Y10/00 H H0 H01 H01J H01J3 H01J3/H01J3/1 H01J3/12 H01J37 H01J37/H01J37/1 H01J37/15 H01J37/153

Получить PDF