Tantalum barrier removal solution

17-02-2009 дата публикации

Номер:

US7491252B2

Автор: Jinru Bian

Принадлежит: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C0 C09 C09K C09K3 C09K3/C09K3/1 C09K3/14 C1 C11 C11D C11D1 C11D11 C11D11/C11D11/0 C11D11/00 C11D11/004 C11D11/0047 C11D7 C11D7/C11D7/3 C11D7/32 C11D7/327 C11D7/3272

IPC - классификация

C C1 C11 C11D C11D1 C11D11 C11D11/C11D11/0 C11D11/00 C11D11/004 C11D11/0047 C11D7 C11D7/C11D7/0 C11D7/08 C11D7/3 C11D7/34

Получить PDF