Compositions comprising supercritical carbon dioxide and metallic compounds

16-12-2014 дата публикации

Номер:

US8912238B2

Автор: Chien M. Wai, Hiroyuki Ohde, Stephen J. Kramer

Принадлежит: Micron Technology Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D1 B01D11 B01D11/B01D11/0 B01D11/02 B01D11/020 B01D11/0203 B01D11/04 B01D11/040 B01D11/0407 B01D15 B01D15/B01D15/4 B01D15/40 C C0 C07 C07C C07C2 C07C26 C07C260 C07C2604 C07C2604/C07C2604/0 C07C2604/00 C09 C09D C09D1 C09D1/C09D1/0 C09D1/00 C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/2 C23C16/22 C23C18 C23C18/C23C18/0 C23C18/00 C23C18/1 C23C18/12 C23C18/120 C23C18/1208 C23C18/122 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/021 H01L21/0210 H01L21/02101 H01L21/0211 H01L21/02115 H01L21/0212 H01L21/02123 H01L21/0217 H01L21/02175 H01L21/022 H01L21/0228 H01L21/02282 H01L21/3 H01L21/31 H01L21/316 Y Y0 Y02 Y02P Y02P2 Y02P20 Y02P20/Y02P20/5 Y02P20/54

IPC - классификация

B B0 B01 B01D B01D1 B01D15 B01D15/B01D15/4 B01D15/40 C C0 C09 C09D C09D1 C09D1/C09D1/0 C09D1/00 C2 C23 C23C C23C1 C23C16 C23C16/C23C16/2 C23C16/22

Получить PDF