Radiation shield for cryogenic pump for high temperature physical vapor deposition
Номер патента: WO2008048324A3
Опубликовано: 24-07-2008
Автор(ы): Alan A Ritchie
Принадлежит: Alan A Ritchie, Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-07-2008
Автор(ы): Alan A Ritchie
Принадлежит: Alan A Ritchie, Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Electron beam physical vapor deposition apparatus
Номер патента: EP1121475A1. Автор: Robert William Bruce,David John Wortman,Rudolfo Viguie,David Vincent Rigney,Antonio Frank Maricocchi,William Seth Willen,John Douglas Evans, Sr.. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2001-08-08.