RESONANT STRUCTURE FOR ELECTRON CYCLOTRON RESONANT (ECR) PLASMA IONIZATION
Номер патента: US20200013594A1
Опубликовано: 09-01-2020
Автор(ы): Lane Barton
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-01-2020
Автор(ы): Lane Barton
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Composite stage for electron enhanced material processing
Номер патента: US20240347323A1. Автор: Samir John Anz,David Irwin Margolese,William Andrew Goddard,Stewart Francis Sando. Владелец: Velvetch LLC. Дата публикации: 2024-10-17.