Process and apparatus for calibrating or recalibrating a flux pressure measuring device in an MBE apparatus
Номер патента: EP0458077A1
Опубликовано: 27-11-1991
Автор(ы): Harald Dr. Heinecke
Принадлежит: SIEMENS AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-11-1991
Автор(ы): Harald Dr. Heinecke
Принадлежит: SIEMENS AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of controlling an epitaxial growth process in an epitaxial reactor
Номер патента: WO2008125609A1. Автор: Robert Maier,Pietro Foglietti,Manfred Schiekofer. Владелец: TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH. Дата публикации: 2008-10-23.