Vacuum pressure systems with vacuum chamber full-range, closed-loop pressure control
Номер патента: US20090301579A1
Опубликовано: 10-12-2009
Автор(ы): Ken Harrison, Matthew Mandeville, JR., Randy Wong
Принадлежит: GNB Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-12-2009
Автор(ы): Ken Harrison, Matthew Mandeville, JR., Randy Wong
Принадлежит: GNB Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Variable orifice type pressure-controlled flow controller
Номер патента: US09507352B2. Автор: Nobukazu Ikeda,Kouji Nishino,Ryousuke Dohi,Yohei Sawada. Владелец: Fujikin Inc. Дата публикации: 2016-11-29.