A method of increasing the conversion efficiency of an euv and/or soft x-ray lamp and a corresponding apparatus
Номер патента: WO2007135587A3
Опубликовано: 24-04-2008
Автор(ы): Dominik Marcel Vaudrevange, Jeroen Jonkers
Принадлежит: Dominik Marcel Vaudrevange, Jeroen Jonkers, Koninkl Philips Electronics Nv, Philips Intellectual Property
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-04-2008
Автор(ы): Dominik Marcel Vaudrevange, Jeroen Jonkers
Принадлежит: Dominik Marcel Vaudrevange, Jeroen Jonkers, Koninkl Philips Electronics Nv, Philips Intellectual Property
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for generating soft x-ray radiation from liner-type gas discharge plasma
Номер патента: RU2459393C1. Автор: Анатолий Васильевич Федюнин. Владелец: Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН (ИСЭ СО РАН). Дата публикации: 2012-08-20.