Selective plasma etching during formation of integrated circuitry
Номер патента: US4687543A
Опубликовано: 18-08-1987
Автор(ы): Christopher D. Bowker
Принадлежит: CollabRx Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-08-1987
Автор(ы): Christopher D. Bowker
Принадлежит: CollabRx Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Two step plasma etching
Номер патента: CA1191479A. Автор: Steven F. Bergeron,Bernard F. Duncan. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1985-08-06.