열처리 장치의 상태 감시 장치, 열처리 장치의 관리 방법 및 기억 매체
Номер патента: KR20220155961A
Опубликовано: 24-11-2022
Автор(ы): 시니치로 미사카, 준노스케 마키
Принадлежит: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Heat Treatment Apparatus Status Monitoring Device, Heat Treatment Apparatus Management Method, and Storage Medium
Номер патента: JP7238955B2. Автор: 晋一朗 三坂,準之輔 牧. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-14.