METHOD FOR PRODUCING RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
Номер патента: US20220081518A1
Опубликовано: 17-03-2022
Автор(ы): EZOE Hiroyuki, Harada Kenichi, Tanaka Takumi
Принадлежит: FUJIFILM Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-03-2022
Автор(ы): EZOE Hiroyuki, Harada Kenichi, Tanaka Takumi
Принадлежит: FUJIFILM Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, method for manufacturing actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, actinic ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern forming method, method for manufacturing electronic device, resin, and method for manufacturing resin
Номер патента: US20240248398A1. Автор: Tsutomu Yoshimura,Akiyoshi Goto. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-07-25.