ACTINIC-RAY- OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION, ACTINIC-RAY- OR RADIATION-SENSITIVE FILM THEREFROM AND METHOD OF FORMING PATTERN
Номер патента: US20120076997A1
Опубликовано: 29-03-2012
Автор(ы): Hideaki Tsubaki, Hidenori Takahashi, Shuji Hirano
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-03-2012
Автор(ы): Hideaki Tsubaki, Hidenori Takahashi, Shuji Hirano
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Actinic-ray- or radiation-sensitive resin composition, actinic-ray- or radiation-sensitive film therefrom and method of forming pattern
Номер патента: US8865389B2. Автор: Shuji Hirano,Hideaki Tsubaki,Hidenori Takahashi. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2014-10-21.