Methods and apparatus for calcining carbonaceous material
Номер патента: US4345896A
Опубликовано: 24-08-1982
Автор(ы): Douglas M. Rowe, Randolph Abernathy, Jr.
Принадлежит: Airco Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-08-1982
Автор(ы): Douglas M. Rowe, Randolph Abernathy, Jr.
Принадлежит: Airco Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and heat treatment apparatus for uniformly heating a substrate during a bake process
Номер патента: US09383138B2. Автор: Michael A. Carcasi,Steven Scheer. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-07-05.