Control of electromechanical behaviour of structures in device of micro-electromechanical systems
Номер патента: RU2348088C2
Опубликовано: 27-02-2009
Автор(ы): Джон БЕЙТИ, Клэренс ЧУЙ, Маниш КОТАРИ
Принадлежит: АйДиСи, ЭлЭлСи
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-02-2009
Автор(ы): Джон БЕЙТИ, Клэренс ЧУЙ, Маниш КОТАРИ
Принадлежит: АйДиСи, ЭлЭлСи
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micro-electromechanical system (MEMS) carrier
Номер патента: US09417425B2. Автор: Ming-Ching Wu,Su-Jhen Lin. Владелец: Globalmems Taiwan Corp ltd. Дата публикации: 2016-08-16.