MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICES AND METHODS OF MAKING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM DEVICES
Номер патента: US20120205753A1
Опубликовано: 16-08-2012
Автор(ы): Andrew J. Minnick, Charles W. Blackmer, Kenneth D. Brennan, Mollie K. Devoe, Scott G. Adams
Принадлежит: Kionix Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-08-2012
Автор(ы): Andrew J. Minnick, Charles W. Blackmer, Kenneth D. Brennan, Mollie K. Devoe, Scott G. Adams
Принадлежит: Kionix Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micro-electromechanical system devices and methods of making micro-electromechanical system devices
Номер патента: TW201242007A. Автор: Scott G Adams,Charles W Blackmer,Andrew J Minnick,Kenneth D Brennan,Mollie K Devoe. Владелец: Kionix Inc. Дата публикации: 2012-10-16.