Charged particle beam device, multi-beam blanker for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device
Номер патента: US10483080B1
Опубликовано: 19-11-2019
Автор(ы): Benjamin John Cook, Dieter Winkler
Принадлежит: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-11-2019
Автор(ы): Benjamin John Cook, Dieter Winkler
Принадлежит: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Charged particle beam device, multi-beam blanker for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device
Номер патента: KR102130512B1. Автор: 디터 윙클러,벤자민 존 쿡. Владелец: 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하. Дата публикации: 2020-07-06.