Sputtering Apparatus and Method of Manufacturing Display Substrate Using the Same
Номер патента: US20140151216A1
Опубликовано: 05-06-2014
Автор(ы): KIM Hyung-Jun, SOHN Sang-Woo
Принадлежит: Samsung Display Co., Ltd.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-06-2014
Автор(ы): KIM Hyung-Jun, SOHN Sang-Woo
Принадлежит: Samsung Display Co., Ltd.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus for forming a thin layer and method of forming a thin layer on a substrate using the same
Номер патента: US09892983B2. Автор: Yu-Sin Yang,Chung-Sam Jun,Sang-Kil Lee,Young-Jee Yoon,Min-Kook Kim,Bang-Won KIM,Yoo-seok Jang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2018-02-13.