用於嵌段共聚物之自組裝之新穎組合物及方法
Номер патента: TW201839019A
Опубликовано: 01-11-2018
Автор(ы): 恒鵬 吳, 杜拉 巴卡朗, 穆罕默德 S 拉赫曼, 金志勳, 鑒會 單
Принадлежит: 盧森堡商Az電子材料(盧森堡)股份有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-11-2018
Автор(ы): 恒鵬 吳, 杜拉 巴卡朗, 穆罕默德 S 拉赫曼, 金志勳, 鑒會 單
Принадлежит: 盧森堡商Az電子材料(盧森堡)股份有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Spin-on layer for directed self assembly with tunable neutrality
Номер патента: WO2016149257A1. Автор: Jeffrey Smith. Владелец: Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.. Дата публикации: 2016-09-22.