Optical element for forming an arc-shaped field
Номер патента: WO2003065123A1
Опубликовано: 07-08-2003
Автор(ы): Isabel Escudero Sanz, Johannes Wangler, Martin Antoni, Wolfgang Singer
Принадлежит: Carl Zeiss Smt Ag
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-08-2003
Автор(ы): Isabel Escudero Sanz, Johannes Wangler, Martin Antoni, Wolfgang Singer
Принадлежит: Carl Zeiss Smt Ag
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical element for forming an arc-shaped field
Номер патента: EP1470450A1. Автор: Wolfgang Singer,Johannes Wangler,Martin Antoni,Isabel Escudero Sanz. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2004-10-27.