원격 여기 소오스를 이용한 증착챔버 세척방법 및 세척가능한 증착장치
Номер патента: KR960005775A
Опубликовано: 23-02-1996
Автор(ы): 메이던 단, 샹 쿠안유안, 에스. 로 캄
Принадлежит: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드, 제임스 조셉 드롱
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Опубликовано: 23-02-1996
Автор(ы): 메이던 단, 샹 쿠안유안, 에스. 로 캄
Принадлежит: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드, 제임스 조셉 드롱
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Minimizing tin oxide chamber clean time
Номер патента: US20240191350A1. Автор: Jeongseok HA,Ching-Yun Chang,Pei-Chi Liu. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-13.