バツチ型浸炭炉の浸炭雰囲気の制御方法
Номер патента: JPS6029461A
Опубликовано: 14-02-1985
Автор(ы): Keiji Yokose, Yuji Imada, 今田 裕二, 敬二 横瀬
Принадлежит: TOKYO NETSU SHIYORI KOGYO KK
Опубликовано: 14-02-1985
Автор(ы): Keiji Yokose, Yuji Imada, 今田 裕二, 敬二 横瀬
Принадлежит: TOKYO NETSU SHIYORI KOGYO KK
Реферат: (57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた め要約のデータは記録されません。
Temperature control method, method of obtaining a temperature correction value, method of manufacturing a semiconductor device and substrate treatment apparatus
Номер патента: US20090105867A1. Автор: Hideto Yamaguchi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-04-23.